全氣浮 AOI 光罩檢測機適合哪些檢測需求？
適合需要評估高精度定位、穩定掃描、低振動與光學檢測整合的 AOI 或精密量測設備。
AOI Inspection / Air Bearing Stage Case
案例摘要
本案例為全氣浮 AOI 光罩檢測機，適合說明豪捷在高精度光學檢測設備、空氣軸承定位平台與客製化自動化整合上的能力。AOI 光學檢測通常不只取決於相機、鏡頭與光源，也高度依賴平台移動穩定性、掃描路徑、平直度、振動控制與環境條件。
光罩、玻璃、薄板、面板或其他高精度檢測對象只能作為常見評估方向，實際適用範圍需依工件尺寸、檢測區域、解析度、節拍、潔淨度、氣源與上下料條件確認。
既有公開規格摘要
以下為原頁已公開規格欄位，僅作案例背景摘錄；其他平台行程、速度、潔淨度、氣源與檢測節拍仍需依工程資料確認。
- ◆ Product application：Semiconductor industry
- ◆ High-precision accuracy (<1μm, industry-first)
- ◆ High straightness：3μm／1.2m
- ◆ High flatness：<4μm／150x150mm2／aluminum base
AOI 光學檢測為什麼需要高精度定位平台
當檢測對象需要大面積掃描、精密定位或穩定成像時，平台的摩擦、振動、幾何精度與氣源條件都可能影響檢測結果。空氣軸承 / 氣浮平台可依需求評估用於降低接觸摩擦、提升移動平順性，並支援高精度光學檢測設備的掃描與定位需求。
全氣浮平台在檢測設備中的價值
低摩擦與低振動
空氣軸承平台可依需求評估降低接觸摩擦與運動磨耗，協助光學檢測維持較平順的掃描條件。
高平直度與穩定掃描
平台幾何精度、掃描路徑與運動控制會影響成像穩定，相關規格需依檢測區域與量測方式確認。
潔淨環境與氣源條件
氣源品質、潔淨室、溫度與低振動環境需在導入前盤點，避免設備完成後才發現現場條件不足。
設備整合範圍
AOI 光學模組評估
視覺檢測、線掃描、面掃描、光學模組、相機與光源配置皆可依檢測需求評估整合。
平台定位與掃描方式
定位方式、掃描方向、FOV 與解析度需求需與平台移動方式一起確認，避免光學與機構條件脫節。
上下料與環境條件
上下料、資料輸出與檢測流程可依需求評估是否整合，環境條件則需同步納入驗收邊界。
導入前需提供的資料
| 評估項目 | 建議提供資料 | 用途 |
|---|---|---|
| 檢測對象 | 尺寸、材質、厚度、是否易變形 | 評估平台行程、支撐方式與搬送方式 |
| 檢測區域 | 掃描範圍、檢測位置、成像需求 | 判斷平台移動與光學配置 |
| 光學需求 | 解析度、FOV、線掃描 / 面掃描方向 | 評估相機、鏡頭、光源與平台穩定性 |
| 平台需求 | 行程、平直度、速度、掃描節拍 | 評估氣浮平台架構與運動控制 |
| 環境條件 | 氣源、潔淨室、低振動、溫度穩定 | 評估設備安裝與穩定性條件 |
| 自動化範圍 | 上下料、資料輸出、檢測流程 | 確認整機整合邊界 |
正在評估 AOI 光學檢測或高精度掃描平台？
請提供檢測對象尺寸、解析度、節拍與環境條件，豪捷可協助初步評估平台與 AOI 模組整合方向。
驗收與評估重點
- 定位穩定性與掃描平順性是否對應檢測區域與光學解析度需求。
- 影像品質、檢測流程一致性與平台運動條件是否能共同驗收。
- 氣源、潔淨度、溫度與低振動環境是否符合設備安裝條件。
- 上下料、資料輸出與光學模組是否需納入整機驗收範圍。
限制條件與不適用情境
若檢測對象、檢測區域、光學解析度、掃描方式、氣源與環境條件尚未明確，需先完成需求盤點。光罩、玻璃、薄板、面板或高精度檢測對象僅作為常見評估方向；視覺檢測、線掃描、面掃描、光學模組、相機與光源配置也需依需求評估，不視為固定標配。
常見問題
空氣軸承平台對 AOI 檢測有什麼價值？
可依需求評估降低接觸摩擦與振動，支援較平順的掃描與定位。
是否一定適用光罩、玻璃或面板？
這些只能作為常見評估方向，實際適用需依尺寸、材質、檢測區域、光學需求與環境條件確認。
可以整合線掃描、面掃描、相機或光源嗎？
視覺檢測、線掃描、面掃描、相機、鏡頭與光源可依需求評估整合。
詢價前需要提供哪些資料？
檢測對象尺寸、檢測區域、解析度、掃描方式、節拍、氣源、環境與上下料條件。
驗收重點有哪些？
可從定位穩定性、掃描平順性、影像品質、環境穩定、節拍與檢測流程一致性評估。
聯絡豪捷討論全氣浮 AOI 檢測平台
提供檢測對象、光學需求、平台條件與環境限制，豪捷可協助評估全氣浮 AOI 檢測平台方案。